- 製品・ソリューション
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実験型ドクターブレードコーター
実験型ドクターブレード塗布装置は、シーメンスPLC制御とシーメンス高精密サーボモータ駆動システム、精密な自社開発ブレード装置（デジタルリアルタイム表示機能搭載、316L耐腐食性ステンレス鋼製）、輸入エアーナイフ、並びに試料吸着と加熱を兼ね備えた実験ステージ及び自社開発の操作システムを採用しています。同時にワイヤーバー塗布にも対応し、ワイヤーバー塗布プロセスを実現します。
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精密実験型平板塗布機
高精密実験型平板塗布機は、塗布ユニット、供液・洗浄システム、試料吸着と加熱を兼ね備えた実験ステージ、塗布ギャップ閉ループ制御システム、及び自社開発の操作性に優れた操作システムで構成されています。ガラス、シリコンウェハー、PETフィルム、PIフィルムなどの基材の塗布が可能です。
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平板塗布機
平板塗布装置は、塗布ユニット、供液ユニット、環境カバー及び電気制御ユニットなどで構成され、300mm\*300mmの基材サイズの塗布に使用され、ミクロン・ナノレベルの機能層を製造できます。本装置は、全自動高さ調整、全自動塗布、自動プレコート、自動リップワイピング、自動洗浄、自動校正などの自動化機能を備えており、自動化レベルが非常に高い小型実験装置であり、小規模量産装置としても使用できます。
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デュアルコーティングステーション全自動高精密塗布装置
デュアルコーティングステーション全自動高精密塗布装置は、平板塗布機台、供液システム、塗布プラットフォーム、電気制御システム及びカバーなどで構成されています。
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量産型平板塗布装置
量産型平板塗布装置は、塗布機、供液ユニット、環境カバー及び電気制御システムを含み、300mm\*400mmの面積の機能層塗布が可能です。本装置はミクロン・ナノレベルの機能膜層を製造できます。自動ピックアンドプレース装置を備え、基板を塗布プラットフォームへ自動搬送します。
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大面積量産型塗布装置 - 搬送ライン型
大面積量産型塗布装置（搬送ライン型）は、600mm\*1200mmの機能層塗布を実現します。本システムは塗布機、供液ユニット、環境カバー、電気制御ユニット及び搬送機構で構成されています。全自動の流れ作業ライン設計を採用し、左側からインテリジェントに材料を供給し、精密に位置合わせして塗布工程を完了し、右側へ成品を出力することで、効率的なタクト式連続運転モードを形成します。
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大面積量産型塗布装置 - ロボットアーム搬送
システム構成：コーター本体（液供給システム付き）、環境チャンバー（クリーン除塵機能・有機溶剤処理装置搭載）、基板搬送ロボット機構、電気制御ユニットなどで構成されます。
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実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーター
実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーターは、210mm×105mmシリコンウェーハへのペロブスカイト機能層コーティング専用に設計されています。 本装置は、コーター、供液ユニット、環境カバー、および電気制御システムで構成されています。
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HJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン
本装置はHJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン専用に設計されており、182mm×105mmシリコンウェーハサイズのコーティングが可能で、210mm×105mmの機能層コーティングにも対応しています。
