実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーター

実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーターは、210mm×105mmシリコンウェーハへのペロブスカイト機能層コーティング専用に設計されています。

本装置は、コーター、供液ユニット、環境カバー、および電気制御システムで構成されています。結晶シリコンタンデムペロブスカイトプロセスにおける背面汚染防止要件を満たすため、本システムは特殊なプレコーティング装置とオーバーコーティング装置を設計し、技術要件を効果的に満たしています。関連する特許出願は完了済みです。