デュアルコーティングステーション全自動高精密塗布装置

デュアルコーティングステーション全自動高精密塗布装置は、平板塗布機台、供液システム、塗布プラットフォーム、電気制御システム及びカバーなどで構成されています。

本装置のデュアルガントリー・デュアル塗布ヘッドのコア技術は特許出願済みです。多様なスラリーに対応し、デュアルガントリーによる精密で安定した制御、デュアル塗布ヘッドによる高効率化、ナノレベルの厚み制御を実現し、企業の量産アップグレード、コスト削減・効率向上を支援します。