大面積量産型塗布装置 - ロボットアーム搬送

ロボットアーム搬送仕様、基板サイズ 600mm×1200mm。ペロブスカイト太陽電池、光学フィルム、電子スラリーなどの分野における大面積単接合剛性基板への塗工に対応可能です。

システム構成：コーター本体（液供給システム付き）、環境チャンバー（クリーン除塵機能・有機溶剤処理装置搭載）、基板搬送ロボット機構、電気制御ユニットなどで構成されます。

装置はロボットによる基板の投入・回収で搬送を実施。コーター本体には全自動高さ調整、全自動塗工、自動プレコート、自動スリットリップ拭き取り、自動洗浄、自動位置補正、自動基板リフトなどの機能を搭載し、ミクロン・ナノレベルの機能層成膜要求に対応します。

先進的な非接触湿式塗工プロセスを採用し、基板の傷つきを防止。塗工膜厚均一性は業界トップクラスを実現しており、脆い剛性基板の高精度塗工に特に適しています。塗工中の基板安定性と成膜品質を確保し、大面積太陽光発電、フラットパネルディスプレイなどの用途分野に安定した生産基盤を提供します。