精密実験型平板塗布機

高精密実験型平板塗布機は、塗布ユニット、供液・洗浄システム、試料吸着と加熱を兼ね備えた実験ステージ、塗布ギャップ閉ループ制御システム、及び自社開発の操作性に優れた操作システムで構成されています。ガラス、シリコンウェハー、PETフィルム、PIフィルムなどの基材の塗布が可能です。
本装置は数多くの出荷成功事例を有し、ペロブスカイト太陽電池、水素燃料電池、量子ドットディスプレイなどの高精密要求分野や、その他の高精密塗布分野で広く使用されています。