量産型平板塗布装置

量産型平板塗布装置は、塗布機、供液ユニット、環境カバー及び電気制御システムを含み、300mm\*400mmの面積の機能層塗布が可能です。

本装置はミクロン・ナノレベルの機能膜層を製造できます。自動ピックアンドプレース装置を備え、基板を塗布プラットフォームへ自動搬送します。塗布プロセスは安定・高効率で、成膜も安定しています。また、産業用コンピュータを搭載し、ヒューマンマシンインタラクションを実現することで、システムの安定性と信頼性を大幅に向上させており、量産塗布ラインに適合します。