HJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン

本装置はHJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン専用に設計されており、182mm×105mmシリコンウェーハサイズのコーティングが可能で、210mm×105mmの機能層コーティングにも対応しています。

本コーティング装置システムは、コーター（供液システム含む）、環境カバー（有機溶剤処理装置含む）、シリコンウェーハ搬送ロボット機構（カセット昇降・移動機構含む）、および電気制御ユニットで構成されています。

本システムは全自動機械搬送方式により基材をコーティングプラットフォームに配置し位置決め固定します。コーティングダイはリニアモーター制御下で機能性溶液のコーティングを行い、その後サンプルをIR赤外線加熱で予備硬化乾燥させ、最終的にコーティング済みサンプルを自動でカセットに搬送して取り出します。

本コーティングシステムは、中国初の量産タクト型・全自動結晶シリコンペロブスカイトタンデムコーティング生産ラインです。