- 製品・ソリューション
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実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーター
実験用結晶シリコンタンデムペロブスカイトスロットダイコーターは、210mm×105mmシリコンウェーハへのペロブスカイト機能層コーティング専用に設計されています。 本装置は、コーター、供液ユニット、環境カバー、および電気制御システムで構成されています。
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HJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン
本装置はHJTタンデムペロブスカイトコーティング生産ライン専用に設計されており、182mm×105mmシリコンウェーハサイズのコーティングが可能で、210mm×105mmの機能層コーティングにも対応しています。
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自動コーティング3点セット装置
結晶シリコンタンデムペロブスカイト太陽電池向け自動コーティング3点セットは、182mm×182mmシリコンウェーハへの機能層コーティング専用に設計されています。 本システムは、コーター（供液システム含む）、環境カバー（クリーン集塵、有機溶剤処理装置含む）、シリコンウェーハ搬送ロボット機構、VCDフラッシュ抽出装置、積層炉アニール装置、および電気制御ユニットなどで構成されています。
