自動コーティング3点セット装置

結晶シリコンタンデムペロブスカイト太陽電池向け自動コーティング3点セットは、182mm×182mmシリコンウェーハへの機能層コーティング専用に設計されています。

本システムは、コーター（供液システム含む）、環境カバー（クリーン集塵、有機溶剤処理装置含む）、シリコンウェーハ搬送ロボット機構、VCDフラッシュ抽出装置、積層炉アニール装置、および電気制御ユニットなどで構成されています。

本システムは、カセットからの自動昇降・全自動ウェーハピックアップにより、コーティング→VCD真空溶剤抽出 → 積層炉アニールを完了し、最終的にカセットへ取り出すまでの3つの工程をすべて自動で行います。