量产型平板涂布设备

量产型平板涂布设备包含涂布机、供液单元、环境罩体及电控单元系统,可实现300mm*400mm面积功能层涂布。

本设备可制备微米、纳米级功能膜层。该设备具备自动抓取装置,可自动转移基板到涂布平台。涂布过程平稳、高效,成膜稳定。同时配备工控机,实现人机交互,极大提升了系统的稳定性和可靠性,可适配涂布量产产线。

技术参数

  • 设备尺寸(mm)
    2300*1550*2250
  • 基材尺寸(mm)
    300*400
  • 模头自动调节精度(μm)
    2
  • 速度控制范围(mm/s)
    1-200
  • 涂布干膜厚度(nm)
    10-100000
  • 膜厚均匀度(%)
    ≤4(粘度70,胶水,干膜500nm)
  • 固含量(%)
    1-70
  • 粘度(cps)
    1-10000
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