技术参数
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设备尺寸（mm）1100*550*500
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基材尺寸（mm）100*100/200*200
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模头自动调节精度(μm)2
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速度控制范围（mm/s)5-200
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涂布干膜厚度（nm）10-1000000
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膜厚均匀度（%）≤5（粘度70，胶水，干膜500nm）
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固含量（%）1-70
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粘度（cps）1-10000
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加热功能（℃）RT-150
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