大面积量产型涂布设备-机械臂搬运

大面积量产型涂布设备-机械臂搬运,基板尺寸600mm*1200mm,可满足钙钛矿太阳能电池、光学薄膜及电子浆料等领域大面积单结刚性基板涂布。

本系统包括:涂布机(含供液系统)、环境罩体(洁净除尘、含有机溶剂处理装置)、基片移动机械手机构及电控单元等。

设备通过机械手进行上、下料取放片来完成基板搬运;涂布本体具有全自动调节高度、全自动涂布、自动预涂、自动唇口擦拭以及自动清洗、自动校正、自动顶片等功能,可实现微米、纳米级别功能层涂布的要求。

设备采用先进的非接触湿法涂布工艺,避免基板损伤,涂布均匀性达到行业领先水平,特别适合脆性刚性基板的高精度涂布,可确保涂布过程中基板稳定性与成膜质量,为大面积光伏、平板显示等应用领域提供可靠保障。

技术参数

  • 设备尺寸(mm)
    3782*3340*2600
  • 基材宽度(mm)
    600*1200
  • 模头自动调节精度(μm)
    2
  • 速度控制范围(mm/s)
    1-200
  • 涂布溶液固含量(%)
    1-70
  • 涂布溶液粘度(cps)
    1-10000
  • 涂布干膜厚度(nm)
    10-100000
  • 膜厚均匀度(%)
    ≤5(粘度70,胶水,干膜500nm)
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