实验型晶硅叠钙钛矿狭缝涂布设备

实验型晶硅叠钙钛矿狭缝涂布设备，专为210mm*105mm硅片钙钛矿功能层涂布而设计。

本设备包括：涂布机、供液单元、环境罩体及电控单元系统。为满足晶硅叠钙钛矿工艺中防背污要求，本系统设计了特殊预涂、过涂装置，有效满足技术要求，现已完成相关专利申请。