光学高精密膜厚测量仪

公司自主研发的光学高精密膜厚测量仪,利用光源干涉原理对膜层进行非接触式测量。可测量透明与半透明涂布膜层。测量厚度可达纳米级,最高测量精度可达0.5%。测量仪具有超高精度、操作简单及使用场景广泛等特点。

技术参数

项目/名称 型号1 型号2 型号3
测量方式 VIS、R UV、VIS、R IR、R
波长范围 380nm-1050nm 250nm-1050nm 900nm-1200nm
厚度范围 15nm-100μm 2nm-200μm 200nm-3000μm
光源 钨卤素灯 钨卤素灯+氘灯 钨卤素灯
重复精度 0.1nm
准确性 2nm或0.5%
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