光学高精密膜厚計

当社が独自に開発した光学高精密膜厚計は、光干渉の原理を利用して膜層を非接触で測定します。透明および半透明のコーティング膜層を測定可能です。測定厚さはナノメートルレベルに達し、最高測定精度は0.5%に達します。この測定計は、超高い精度、簡単な操作、そして幅広い使用シーンが特徴です。

技術仕様

項目/名称 型式 1 型式 2 型式 3
測定方式 VIS、R UV、VIS、R IR、R
波長範囲 380nm-1050nm 250nm-1050nm 900nm-1200nm
厚さ範囲 15nm-100μm 2nm-200μm 200nm-3000μm
光源 タングステンハロゲンランプ タングステンハロゲンランプ+重水素ランプ タングステンハロゲンランプ
繰り返し精度 0.1nm
正確性 2nm或0.5%
カスタマイズされた技術ソリューションが必要ですか?
鴻正智能の技術チームは豊富な産業経験を持ち、お客様のプロセス要件に応じて装置開発から生産ライン構築まで幅広いコンサルティングサービスを提供します。