产品简介 Product Introduction

功能集成化涂布系统通过涂布设备与手套箱的功能整合，可以实施对水氧环境严格控制，实现高精涂布实验及样片表征等功能集成。

设备规格 Specifications

系统功能 System Functions

• 洁净度控制
• 样片加热、固化处理
• 环境氛围控制
• 膜厚测量
• 涂布处理
• 膜面形态观测
• 涂布过程减震
• 手套箱双面操作